ウエーハ・ガラス基板外観自動検査システム

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DF series

目視検査を自動検査に替えてみませんか?

 

ガラス基板の表裏面同時検査を実現

  • 1回の検査で表裏面欠陥検出
  • 表裏面同時検査で高スループット
    • 100x100mm□ 検査時間約1分(3um検査)
  • 欠陥画像のレビュー・保存が可能
  • 最高検出感度1.7um

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2カメラシステムで2層同時  検査を可能にしました。
カバーガラス等、透明基板の表裏面同時検査に最適です。

ガラス厚みは1mm以下対物5xと10xの適用となります。

検査マップと検出欠陥イメージ

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検査対象品:ガラス

DF Series 概要仕様

  • 短倍対物レンズ
  • 高感度カメラ
  • 最高分解能 0.87um
  • 検査対象寸法 200mm□
  • マニュアル搬送
  • フットプリント800x800mm

DF アプリケーションソフトウエア

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